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Swagelok原子层沉积用隔膜阀

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有效期至: 长期有效
最后更新: 2017-11-15 09:21
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“Swagelok原子层沉积用隔膜阀”参数说明

驱动方式: 常闭式气动 结构形式: 截止式
材质: 316L

“Swagelok原子层沉积用隔膜阀”详细介绍

原子层沉积(ALD)隔膜阀高速执行下的超高循环寿命标准流量系数Cv 0.27到0.62,可提供定制流量系数耐热执行器,耐温高达200°C (392°F)电子执行器位置传感选购件适合采用316L VIM-VAR不锈钢阀体的超高纯应用场合VCR,卡套管对焊和模块化表面安装端接常闭和常开气动执行器两孔口直通和弯曲流动路径结构两孔口,三孔口和四孔口多孔口阀和多阀阀组1/4, 3/8和1/2 in,以及6, 10和12mm的VCR, “H”型VCR和卡套管对焊端接订购型号如下:6LVV-ALD3FR4-P-6LVV-ALD3VR4-P-6LVV-ALD3MR4-P-6LVV-ALD3BW4-P-6LVV-ALD3BW4S-P-6LVV-ALD3BW6M-P-6LVV-ALD3TFR4-P-6LVV-ALD3TVR4-P-6LVV-ALD3TMR4-P-6LVV-ALD3TBW4-P-6LVV-ALD3TBW4S-P-6LVV-ALD3TBW6M-P-6LVV-ALD6FR8-P-6LVV-ALD6HFR4-P-6LVV-ALD6HFR4HMR4-P-6LVV-ALD6MR8-P-6LVV-ALD6HMR4-P-6LVV-ALD6BW6-P-6LVV-ALD6BW8-P-6LVV-ALD6BW10M-P-6LVV-ALD6BW12M-P-

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